技術文章您現在的位置:首頁 > 技術文章 > Edwards愛德華IXM系列干式真空泵工作原理

Edwards愛德華IXM系列干式真空泵工作原理

發布時間:2021-11-24   點擊次數:507次

Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明,可以按照最高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時減小占地面積、降低運行成本,實現了高的可靠性和性能。

  

iH 系列為難以執行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。

應用

負載鎖

輸送

計量

平版印刷

PVD 制程

PVD 預清潔

RTA

剝離/灰化

刻蝕

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD


有關任何特定應用條件下 ixm 系統穩定性的建議,請與 Edwards 聯系。

功能和優勢

優化了設施消耗。

無需預防性維護。

懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。

在節省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。

耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。

較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。

整體式軸桿無需使用電機聯結器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。


東莞市品雅真空設備有限公司

東莞市品雅真空設備有限公司

地址:東莞市寮步鎮坑口社區興隆路4號

© 2022 版權所有:東莞市品雅真空設備有限公司  備案號:粵ICP備17132888號  總訪問量:85277  站點地圖  技術支持:化工儀器網  管理登陸

QQ在線客服
聯系方式

13712084852

86-0769-83283731

国产成人av大片大片在线播放_免费精品国产一区二区三区_国产在线无码视频一区_国产精品熟女高潮视频_国农村精品国产自线拍